第十一讲扫描探针显微分析.pptVIP

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;STM??基本原理;STM??基本原理;STM??基本原理;STM??基本原理;STM??结构;技术关键

△微小距离的移动及控制－压电陶瓷

位移灵敏度在5?/V量级

STM针尖半径R3-10?

针尖与表面距离2-5?

△防震

;STM??实验设备;STM??实验设备;STM??实验设备;结构

三维控制的压电陶瓷：

Px和Py上加周期锯齿波电压，使针尖沿表面作光栅扫描。

利用隧道结电流I反馈，控制加于Pz上的电压来控制s，以保持I不变。

如s↗→I↘→Pz上的电压↗→Pz伸长→s↘。

VPz(VPx,VPy)曲线为样品表面三维轮廓线。

;△XYZ位移器（样品位置细调〕

微小距离移动的精确控制

△样品粗调

使针尖与表面的距离，从光学可觉察的距离

(10-100μm)调整到100?量级

爬虫（Louse）结构

精细螺旋机构

△防震系统分析

使由振动引起的隧道距离变化?0.001nm

(振动：针对重复性、连续的，通常频率在1－100Hz)

;STM??工作模式;STM??工作模式;1．表面形貌测量及其分辨率

假设样品表面存在陡变台阶，由于针尖半径R有一定尺寸，针尖的轨迹将有一过渡区δ。δ与R、s和k有如下近似关系：

R：针尖半径

S：针尖至表面距离

若R=3?,s=2?,k=1?-1

则δ≈1.6?(分辨率)

只有在表面各处逸出功相同时，针尖在z方向的位移才表示样品外形的起伏。

;2．逸出功的测量

由I∝exp[-2ks]

ΔI/I=-2kΔs

ΔI/Δs=2Ik

若I保持不变

则：dI/ds∝k∝φ1/2

工作方式：扫描中保持I不变，使s有一交流调制，dI/ds随x,y变化。dI/ds(x,y)平方后即为逸出功象。

3．扫描隧道谱(STS)

在表面的某个位置作I-V或dI/dV－V，得???特征峰的STS。在特征峰电压处，保持平均电流不变，使针尖在X、Y平面扫描，测dI/dV随x,y的变化，得扫描隧道谱象。

表面的电子性质和化学性质表现在I-V和dI/dV－V曲线中。;STM??应用说明;

特点：

△能测量绝缘体的表面形貌

(STM不能)

△测量表面原子间的力

测量弹性、塑性、硬度等;Binnig,Quate,和Gerber等人1986年在斯坦福大学发明了新一代SPM--原子力显微镜（AFM）。当时的AFM横向分辨率已经可以达到2nm，纵向分辨率为0.01nm，这样的分辨率超过了普通扫描电子显微镜。而且AFM对工作环境和样品制备的要求比电镜要小的多。;AFM工作原理;AFM----工作模式;AFM----工作模式;AFM----工作模式;AFM----工作模式;AFM----工作模式;AFM结构及关键技术

（振动隔离及样品移动等与STM相同）

;隧道电流法（用STM）;;现在是47页\一共有53页\编辑于星期五;(2)力传感器(微悬臂和针尖)

△低的力弹性常数

△高的力学共振频率

△高的横向刚性

△短的悬臂长度

△带有镜子或电极

△尽可能尖的尖端

;利用弹性元件形变

F=kΔz(虎克定理)

F很小，k和Δz也必须小。

但k小不符合刚性原则，

因此在降低k的同时，也要减小M。

例:微杠杆由25μm金箔作成，重量10－10kg

fd=2kHz

k=2×10-2N/m

因STM测的Δz可小至10－3－10－5nm

则有：F=kΔz

=2×(10－14