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厚膜电容式微位移传感器：原理、设计与性能优化的深度探索

一、引言

1.1研究背景

在现代科技发展进程中，微小物理量的精确测量愈发重要，微位移传感器作为关键测量工具，在众多领域有着广泛应用前景。在工业自动化生产线上，需要精确测量机械部件的微小位移，以确保产品的高精度制造；在生物医学领域，对细胞、组织等微观结构的位移监测，有助于疾病的诊断和治疗研究；在航空航天领域，飞行器部件的微小形变和位移测量，关乎飞行安全和性能。

传统的微位移传感器主要基于电阻、电感或压电效应等物理原理。基于电阻原理的微位移传感器，如电位器式位移传感器，通过电阻值的变化来测量位移。然而，其电刷与电阻元件之间存在摩擦，容易造