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CN119419143B 一种晶圆静电吸附加热装置 （浙江晟霖益嘉科技有限公司）.docxVIP

CN119419143B 一种晶圆静电吸附加热装置 （浙江晟霖益嘉科技有限公司）.docx

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    (21)申请号202510007025.2

    (22)申请日2025.01.03

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119419143A

    (43)申请公布日2025.02.11

    H01L21/683(2006.01)

    (56)对比文件

    CN102741998A,2012.10.17CN102956533A,2013.03.06审查员

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