《GB_T 40344.3-2024真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数》专题研究报告.pptxVIP

;目录;;;;适用边界：明确覆盖范围与排除情形;;;核心参数分类：真空性能与运行状态的双重维度;抽气速率直接决定机械增压泵的工作效率，是设备选型的核心依据。标准明确其为“在规定入口压力下，单位时间内通过泵入口的气体体积”，并强调在多个压力点测量以绘制特性曲线，这是因为实际工况中压力并非恒定，曲线能更真实反映性能。;压缩比：衡量气体压缩能力的关键指标;温度与振动：非真空参数的重要性何在？;;;;试验装置安装规范：避免系统误差的关键环节;环境条件控制：常被忽视的误差来源;;测量前准备：设备调试与状态确认;恒定压力法测抽气速率：标准推荐的核心方法;;;;;;压缩比测量：气体种类与压力范围的选择;数据处理规范：异常值剔除与结果表达;;标准明确温度测量需包含三处：入口法兰温度、轴承座温度、泵壳表面温度。仪表选用热电偶或热电阻温度计，精度等级不低于0.5级。测量时传感器需与测量表面紧密接触，采用导热胶固定，避免空气间隙导致的测量偏差，确保反映真实温度。;温度测量的时间节点与判定标准;;振动烈度的评价标准与数据记录;;;评定流程：从误差来源识别到分量计算;主要参数的不确定度来源解析;结果表达规范：清晰传递不确定度信息;;;关键仪器的校准项目与技术指标;;校准与核查记录的管理规范;;半导体制造场景：超高精度测量的适配要求;光伏行业的薄膜沉积工艺需大抽气速率的增压泵（通常≥500L/s）。应用标准时需选用大流量测量装置，扩展流量测量范围至1000L/s，同时在测量抽气速率时增加高压力点（如1000Pa）的测试，确保覆盖光伏行业的典型工况。;医疗设备场景：洁净介质下的测量注意事项;;;技术升级趋势：机械增压泵的发展新方向;;01