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调频连续波激光干涉精密测量关键技术研究.pdf

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    摘要

    大动态范围、高精度、实时性的位移测量在超精密制造与高精度传感领域具

    有重要的应用价值，已成为激光测距领域的研究热点。调频连续波激光干涉技术

    作为目前新型的相干测量技术，与其他激光测量技术相比，该技术具有较高的精

    度和分辨率、较大的测量范围以及可实现非接触式测量等优势。但目前调频连续

    波激光干涉的测量精度与分辨率受到测量系统、激光器非线性效应与解调方法等

    制约。本文以实现高精度、高分辨率的位移测量为目标，对调频连续波激光干涉

    测量技术相关原理与实现方法开展了一系列研究。主要研究内容如下：

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