电磁透镜的像差及其对分辨率的影响.pptVIP

LogoLogo电磁透镜的像差及其对分辨率的影响第1页，共17页，星期日，2025年，2月5日MicronscaleHumanscaleGrandscaleAstronomicalscaleNanoscale尺度与相应的研究工具1001021041061081010101210-210-410-610-810-10第2页，共17页，星期日，2025年，2月5日光学显微镜列文虎克镜（100-300×）单式镜即使光学透镜组合被制作得无可挑剔，分辨率最多也只能达到光波长的一半。自然光的平均波长为0.55μm，这就是为什么光学显微镜最多只能分辨0.275μm的细节复式镜Rayleigh公式计算：式中λ为照明光源的波长，n为介质的相对折射系数，α为显微镜的孔径半角。第3页，共17页，星期日，2025年，2月5日电子显微镜的诞生德布罗意的波动理论1927HansBusch:电子可被不均匀磁场聚焦1932年MaxKnoll和ErnstRuska建成了第一台透射电子显微镜（放大倍数17.4)ErnstRuska为此获1986年Noble奖M=17.4M=4.8M=17.41939:firstcommercialtransmissionelectronmicroscope(Siemens)第4页，共17页，星期日，2025年，2月5日光镜、TEM和SEM的成像原理第5页，共17页，星期日，2025年，2月5日2.电磁透镜的聚焦原理电磁透镜主要由两部分组成。第一部分是由软磁材料（如纯铁）制成的中心穿孔的柱体对称芯子，被称为极靴。大多数磁透镜有上极靴和下极靴,孔径与间隙比是电磁透镜的重要参数之一。第二部分是环绕极靴的铜线圈，当电流流过线圈时，极靴被磁化，并在心腔内建立起磁场，并对电子束产生聚焦作用。第6页，共17页，星期日，2025年，2月5日对正电荷在磁场中运动时受到磁场的作用力为：式中，q-运动正电荷?????v-正电荷运动速度?????b-正电荷所在位置磁感应强度，与磁场强度h的关系：b=μ*h（a）磁力线上任一点的磁感应强度b可分解为平行于透镜主轴的分量bz和垂直于透镜主轴的分量br；（b）电子所受的切向力ft和径向力fr;（c）电子作圆锥螺旋近轴运动；（d）电子束通过磁透镜的聚焦示意图；（e）光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦原理示意图第7页，共17页，星期日，2025年，2月5日电子束的波长比可见光小5个数量级，透射电子显微镜的分辨率理论上为0.002nm，但实际电镜的分辨率远远达不到上述指标，为什么？不同加速电压下的电子波长（经相对论校正）像差色差几何像差像散球差电磁透镜的缺陷：像差第8页，共17页，星期日，2025年，2月5日球差球差即球面像差，是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的，其中离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子折射程度过大。如上图所示，电子波经过透镜成像时，离开透镜主轴较远的电子(远轴电子)比主轴附近的电子(近轴电子)被折射程度要大。当物点P通过透镜成像时，电子就不会会聚到同一焦点上，从而形成了一个散焦斑。第9页，共17页，星期日，2025年，2月5日球差若设最小散焦斑的半径为rs，透镜的放大倍数为m，其折算到物平面上，其大小为显然，物平面上两点的距离小于2△rs时，则该透镜不能分辨，即在像平面上得到一个点，因此，△rs表示球差的大小。上式可以看出，减小球差可以通过减小cs和α来实现，用小孔径成像时，可使球差明显减小。cs—球差系数，通常相当于焦距，1-3mm。α-电磁透镜的孔径半角。第10页，共17页，星期日，2025年，2月5日象散像散是由于电磁透镜的周向磁场非旋转对称引起。产生原因：■极靴内径不圆■上下极靴不同轴■极靴材质磁性不均匀■极靴污染透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别，物点p通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点，而是形成一散焦斑第11页，共17页，星期日，2025年，2月5日象散由于透镜制造精度差和极靴、光阑的污染都能导致像散。可以通过引入一强度和方位都可以调节的矫正磁场来进行补偿。在电镜中，这个产生矫正磁场的装置是消像散器。像散焦距差与球差的处理情况相似，若设最小散焦斑的半径为ra，透镜的放大倍数为m，其折算到物平面上，其大小为第12页，共17页，星期日，2025年，2月5日LogoLogo