第十二讲 X射线光电子谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES).pdfVIP

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Auger电子能谱(AES)

AugerElectronspectroscopy

Evaluationonly.

CreatedwithAspose.Slidesfor.NET2.016.3.0.0.

吴志国

兰州大学等离子体与金属材料研究所

AESAuger效应

v1925年P.Auger已经在Welson云室内观察

Evaluationonly.

到Auger电子径迹，并正确地解释了这种

CreatedwithAspose.Slidesfor.NET2.016.3.0.0.

电子的来源。

v尽管时人们已经认识到它可以成为一种

成分分析的手段，但直到六十年代中期，

随着金属的超高真空系统和高效的微弱信

号电子检测系统的发展，才出现了可以用

于表面分析的实用Auger电子能谱仪。

AESAuger效应

v随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱

Evaluationonly.

仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子

CreatedwithAspose.Slidesfor.NET2.016.3.0.0.

显微术(SAM),成为微区分析的有力工具。

v电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功

能更趋完善。目前，Auger电子能谱已成为许

多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析

手段之一。

AESAuger效应

vAuger过程

Evaluationonly.

Transfer

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Ejected

core

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