实施指南(2025)《GB_T34971-2017半导体制造用气体处理指南》.pptxVIP

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2025-09-28 发布于浙江
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实施指南(2025)《GB_T34971-2017半导体制造用气体处理指南》.pptx

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;目录;;;标准核心定位：衔接国际与适配国内的气体处理技术基准;顶层框架解析：从“基础定义”到“持续改进”的全周期覆盖逻辑;;;;全链条管控逻辑：从源头采购到末端排放的风险闭环管理;;;系统密封性设计：从接口到阀门的泄漏防控技术要点;;;;权威检测方法：气相色谱与质谱联用的实操应用规范;;;;;;;;;;;废气处理标准：不同类型气体的净化排放限值;;;;;;;;符合性验证指标：纯度达标率与安全事故发生率等核心参数;;持续改进机制：基于审核结果与行业反馈的标准落地优化策略;;;标准延伸应用：从传统半导体到化合物半导体的适配调整;