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2025至2030中国聚焦离子束系统行业运营态势与投资前景调查研究报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状与竞争格局分析 2
1、市场规模与增长驱动因素 2
半导体制造、纳米技术及生物医学领域需求为核心增长引擎 2
2、产业链结构与区域分布 4
京津冀依托科研院所在特种刻蚀系统研发保持领先地位 4
3、竞争格局与集中度 5
国内头部企业通过垂直整合将关键零部件自给率提升至45% 5
二、技术发展与政策环境 7
1、核心技术突破方向 7
智能化控制系统渗透率将从15%提升至2030年60% 7
极紫外(EUV)
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