第二篇扫描电子显微分析.pptVIP

本章主要内容;10.1概述;*;FEINova400场发射扫描电子显微镜;扫描电子显微镜的成像原理和透射电于显微镜完全不同，它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物型信号来调制成像的。新式扫描电子显微镜的二次电子像的分辨率已达到1nm，放大倍数可从数倍原位放大到20万倍左右。;TEM与SEM的成像原理对比;由于扫描电子显微镜的景深远比光学显微镜大，可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制可直接进行观察，这给分析带来极大的方便。因此，目前显微断口的分析工作大都是用扫描电子显微镜来完成的。

目前的扫描电子显微镜不只是分析形貌保，它可以和其它分析仪器相组合，使人们能在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。;10.2扫描电镜的特点和工作原理;试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态；

可做综合分析。SEM装上波长色散X射线谱仪(WDX)(简称波谱仪)或能量色散X射线谱仪(EDX)(简称能谱仪)后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。;装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境（加热