TTMAC-离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验方法编制说明.pdf

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《离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验方法》

团体标准

征求意见稿编制说明

一、任务来源

离子注入设备用静电卡盘是一种利用静电吸附原理来固定物体的装置，近年来随着科技的进步和工业

需求的提升，其发展背景和意义日益凸显。陶瓷材料因其独特的物理和化学性质，如高硬度、耐高温、耐

腐蚀和良好的绝缘性能，被广泛应用于静电吸盘的制造中。这些特性使得离子注入设备用静电卡盘在半导

体、电子、精密制造等行业中扮演着重要角色。

从技术发展的角度

该用户很懒，什么也没介绍

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