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检测技术压电磁敏传感器第1页，共23页，星期日，2025年，2月5日压电效应（正向压电效应）：对某些电介质沿一定方向施以外力使其变形时，其内部将产生极化现象而使其表面出现电荷集聚的现象。在外力去除后又重新恢复到不带电状态。称为压电效应。逆向压电效应（电致伸缩效应）：当某晶体沿一定方向受电场作用时，在一定的晶轴方向将产生机械变形或应力。外加电场消失后，晶体内部的应力或变形也随之消失。8.1压电效应第2页，共23页，星期日，2025年，2月5日压电材料

具有压电效应的电介质材料，如石英晶体，钛酸钡，锆钛酸铅等石英晶体：各向异性。纵轴Z（光轴）；X轴（电轴）:经过六棱柱棱线并垂直于光轴；Y轴（机械轴）。第3页，共23页，星期日，2025年，2月5日沿X轴向受力：（纵向压电效应）沿Y轴向受力：（横向压电效应）沿Z轴向受力：无电荷产生如果对石英晶片施加交变电场，将产生机械振动（逆压电效应），如超声波探头。第4页，共23页，星期日，2025年，2月5日第5页，共23页，星期日，2025年，2月5日压电材料分为：压电晶体、压电陶瓷、高分子压电材料居里点：压电材料完全丧失压电性质时对应的温度点。（1）石英晶体压电系数d11=2.1x10-12C/N居里点：573度机械性能稳定，强度高。（2）压电陶瓷：人工合成的多晶体压电材料，由无数细微电畴组成。电畴：自发极化的小区域。第6页，共23页，星期日，2025年，2月5日压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT）系列，它是钛酸铅（PbTiO2）和锆酸铅（PbZrO3）组成的（Pb（ZrTi）O3）。居里点在300℃以上，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数（3）高分子压电材料如聚二氟乙烯(PVF2)、聚氯乙烯(PVC)等。第7页，共23页，星期日，2025年，2月5日8.2压电式传感器的测量电路压电传感器等效电路第8页，共23页，星期日，2025年，2月5日前置放大器压电传感器产生的电荷量很小，而内阻又非常大，故其带负载能力非常弱。后续测量电路必须具有极高的输入阻抗，因此压电传感器通常要先接一个高输入阻抗的前置放大器，作阻抗变换后再进行其他变换和处理。前置放大器种类：电压放大器、电荷放大器第9页，共23页，星期日，2025年，2月5日第10页，共23页，星期日，2025年，2月5日电荷放大器图8-6电荷放大器原理第11页，共23页，星期日，2025年，2月5日8.3压电式传感器的应用压电式力传感器可用于测量动态、短期静态的振动和冲击力，机械结构的拉伸和压缩力第12页，共23页，星期日，2025年，2月5日压电式加速度传感器主要指标：电荷灵敏度：50pC/g频率范围：0.2-9000Hz（±10%)安装谐振点:27kHz横向灵敏度：≤5%副值线性：1500g（±10%)重量：15gm

使用温度范围：-40～+150℃安装螺纹：M5mm内部结构：隔离剪切用途：通用测振第13页，共23页，星期日，2025年，2月5日第9章磁敏式传感器主要内容：A霍尔传感器-霍尔效应与霍尔元件-参数及特性-霍尔传感器应用B磁敏电阻第14页，共23页，星期日，2025年，2月5日9.1霍尔式传感器（HallSensor)霍尔效应

（Halleffect)一半导体薄片，在它两端通以电流I，在薄片的垂直方向上施加磁感应强度为B的磁场，则在薄片的另两端会产生一个与控制电流I和磁感应强度B的乘积成比例的电动势UH,这个电动势称霍尔电动势，这个现象称霍尔效应。第15页，共23页，星期日，2025年，2月5日霍尔效应产生机理霍尔效应是由于运动的载流子（电子/空穴）受到洛伦兹力作用的结果。洛伦兹力是磁场对运动电荷的作用力。洛伦兹力的方向循右手螺旋定则垂直于v和B构成的平面，为由v转向B的右手螺旋的前进方向（若q为负电荷，则反向）。由于洛伦兹力始终垂直于电荷的运动方向，所以它对电荷不作功，不改变运动电荷的速率和动能，只能改变电荷的运动方向使之偏转。

第16页，共23页，星期日，2025年，2月5日霍尔电势当电场力和洛仑兹力相等时，电子积累达到动态平衡，此时形成的电位差就是霍尔电势UH。由于半导体材料的电阻率及迁移率都很大，故霍尔系数很大，适合制作霍尔元件第17页，共23页，星期日，2025年，2月5日