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双自转研磨：精密陶瓷球表面质量提升的关键路径

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业的精密制造领域，精密陶瓷球凭借其一系列卓越性能，占据着不可或缺的关键地位。以氮化硅陶瓷球为例，它具备高硬度、高耐磨性、高耐腐蚀性以及出色的高温稳定性，这些特性使其在超精密切削、超精密磨削、抛光和研磨等高精度加工领域得到广泛应用。在超精密切削中，其高硬度可更好地抵抗磨损和变形，低热膨胀系数和高导热性又能有效减小热变形对加工精度的影响，从而显著提高加工精度和表面质量；在超精密磨削领域，其硬度和耐磨性使其成为理想磨料，可在高压力和高转速条件下高效磨削，且化学稳定性保证了加工表面的纯洁度。

此外，精密陶瓷球在诸