原创力文档未找到bdjson;;;根据国际标准化组织（ISO14644-1）规定，洁净区按空气中≥0.5μm粒子浓度分为ISO1至ISO9级，其中ISO1级为最高洁净等级（每立方米≤12颗粒），适用于半导体制造等超精密行
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