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精密光栅测微计的光_机结构优化设计与实验研究.pdfVIP

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  • 2025-10-14 发布于江苏
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精密光栅测微计的光_机结构优化设计与实验研究.pdf

    摘要

    4.0

    工业的提出，我国对超精密加工领域以及精密测量领域的技术标准不断提高，对微

    位移测量技术和测量仪器提出了更大的挑战。光栅微位移测量技术在精密测量领域具有高分

    辨率、抗干扰能力强、制造成本更低以及综合技术性能更好的优势。而光栅测微计是光栅微

    位移测量领域的重要技术体现。但是随着光栅测微计不断应用于高精度数控机床、航空航天

    以及精密加工等领域，光栅测微计的测量精度需要进一步的研究。

    为了进一步提高光栅测微计的测量精度，本文分别针对光栅测微计的机械结构、光栅零

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