基于Sentaurus TCADSiGe HBT工艺仿真模板与关键技术应用.pdfVIP

基于Sentaurus TCADSiGe HBT工艺仿真模板与关键技术应用.pdf

  1. 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
  2. 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  3. 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多

SentaurusTechnologyTemte:

SiGeHBTProcessing

ThisTCADSentaurussimulationprojectprovidesatemtesetupforsilicon-

germanium(SiGe)heterojunctionbipolartransistor(HBT)processsimulations.

TheprocesssimulationsareperformedbySentaurusProcess,incorporating

advancedmodelstotreatlatticemismatchweengermaniumandsilicon,andthe

effectofgermaniumondiffusionofdopantsandpointdefects.Inthedevice

simulations,theGummelplotsimulationisperformedtoextracttheum

currentgain.

VersionInformation

ThisTCADsimulationtemtehasbeendesignedandverifiedusingTCAD

SentaurusVersionH-2013.03.

Senurus技术模板:SIGEHBT处理

抽象的

该TCADSentaurus仿真项目为硅‑锗(SIGE)异晶双极晶体管(HBT)过程

模拟了模板设置。

该过程模拟是通过Sentaurus工艺进行的,结合了锗和硅之间的高级模型

Totreatlattice不匹配,以及锗对掺杂剂和点的扩散的影响。在设备仿真

中,执行Gummel图模拟以提取最大电流增益。

版本信息

使用TCADSentaurusversionH‑2013.03设计和验证了此TCAD仿真模板。

SynopsysandtheSynopsyslogoareregisteredsofSynopsys,Inc.

Allotherproductsorservicenamesmentionedhereinaresoftheirrespectiveholdersandshouldbetreatedassuch.

您可能关注的文档

文档评论(0)

183****7931 + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档