掩膜电解-电沉积两步法蘑菇状微结构阵列的构筑及其疏水性研究.pdf

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摘要

超疏水表面广泛应用于抗污、抗菌、防腐蚀、抗结冰及液体收集等领域。自

然界中弹尾虫皮肤表面具有的蘑菇状结构因其表现出良好的疏水性而受到关注。

具有复杂多级结构的蘑菇状微结构,传统加工方法难以实现其大批量、高效率的

加工。基于此,本文提出掩膜电解-电沉积两步法加工蘑菇状微结构阵列:先电解

加工“蘑菇柱(微柱)”阵列、后在柱状结构表面电沉积生长金属制备“蘑菇头”

阵列。相比于传统加工,该方法具有加工适应范围广、简单、可大批量制备蘑菇

状微结构阵列等优点。本文分别以制备微柱结构和蘑菇头结构为

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