PZT压电薄膜圆片级制造技术及MEMS器件技改项目建设项目环境影响报告表.docxVIP

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建设项目环境影响报告表

项目名称：苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司PZT压电薄膜圆片级制造技术及MEMS器件技改项目

建设单位(盖章)苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司

编制日期:2019年05月

江苏省环境保护局制

《建设项目环境影响报告表》编制说明

《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。

1．项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。

2．建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。

3．行业类别——按国标填写。

4．总投资——指项目投资总额。

5．主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。

6．结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其它建议。

7．预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。

8．审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。

一、建设项目基本情况

项目名称

苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司PZT压电薄膜圆片级制造技术及MEMS器件技改项目

建设单位

苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司

法人代表

张淑梅

联系人

刘品端

通讯地址

苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城

联系电话传真

/

邮政编码

215200

建设地点

苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城

立项审批部门

苏州工业园区行政审批局（发改）

批准文号

苏园行审备[2019]16号

建设性质

技改

行业类别及

代码

M7320工程和技术研究和试验发展

占地面积

（平方米）

0(全厂20000m2，本次不新增)

绿化面积

（平方米）

/

总投资

（万元）

8000

其中：环保投资（万元）

50

环保投资占总投资比例%

6.25

评价经费

（万元）

/

预计投产日期

2019年07月

原辅材料（包括名称、用量）及主要设施规格、数量（包括锅炉、发电机等）：

主要原辅材料见后页表1-1；主要原辅材料理化性质见后页表1-2；主要生产设备见后页表1-3。

水及能源消耗量

名称

消耗量

名称

消耗量

水（吨/年）

6963.8

燃油（吨/年）

/

电（千瓦时/年）

100万

燃气（标立方米/年）

现有项目使用60万，本次技改不使用

燃煤（吨/年）

/

其它

/

废水（工业废水?、生活污水?）排放量及排放去向：

工业废水：现有项目生产废水108362m3/a经厂内自建废水处理设施处理达标后接入市政污水管网排入园区污水处理厂处理，尾水达标排放至吴淞江。本次技改新增4274.5m3/a生产废水。

生活污水：现有项目生活污水产生量为600m3/a，经市政污水管网接入园区污水处理厂处理，尾水排入吴淞江。本次技改不新增生活污水。

表1-4废水排放量及排放去向

类别

废水种类

废水排放量(m3/a)

排放去向

本项目

生产废水

4274.5

进入园区污水处理厂处理，尾水排入吴淞江

生活污水

0

项目实施后全公司

生产废水

113236.5

生活污水

149282

放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况

无。

表1-1项目主要原辅材料情况表

表1-1项目主要原辅材料情况表

名称

组分、规格

状态

使用量kg/a

来源

最大存储量

包装方式

储存位置

储存条件

运输

方式

现有

此次技改增加

技改后全厂

晶圆

二氧化硅（11g/片、直径150mm）

固态

772.2

77.22

849.42

外购

15kg

盒装

原料仓库

常温

汽车运输

晶圆

PZT压电陶瓷(25g/片，含质量0.05%铅)

固态

60.1

6.01

66.11

20kg

盒装

原料仓库

常温

PZT

锆钛酸铅

固态

0

10

10

20kg

盒装

原料仓库

常温

丙酮

99.9%

液态

23000

2300

25300

2000kg

50L铁桶装+加仑桶装

甲类化学品仓

常温

硝酸

95%

液态

2304

230.4

2534.4

150kg

50L桶

化学品仓库

常温

缓冲氧化刻蚀液BOE

8.2%氟化铵、33-35%氢氟酸、水43.2%~58.5%

液态

15000

1500

16500

1200kg

200L桶装

化学品仓库

室温

铝蚀刻液

磷酸80%、醋酸15%、硝酸5%

液态

2000

200

2200

1700kg

200L桶装

化学品仓库

室温

双氧水

30%

液态

20160

2016

22176

4500kg

50L桶装