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EVGEVG610单面双面光刻机说明书.pdf

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    亚科电子网址：

    EVG610单面/双面光刻机

    一、简介

    EVG公司成立于1980年，公司总部和制造厂位于奥地利，在美国、日本和台湾设有分

    公司，并在其他各地设有销售代理及售后服务部，产品和服务遍及世界各地。

    EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商，其丰富的产品系列包括：涂胶和

    喷胶显影机热板冷板、掩模版光刻键合对准系统、基片热压键合低温等离子键合系统、

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