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软纳米平台用户手册
一、平台简介
软纳米平台(SoftMatterNanolab；SMN)是专门为了研发各类软材料、及将软材料制备成各
种应用器件，而创建的一个微纳加工共享平台；本平台全名为：软物质微纳加工实验室(Soft
MatterNanofabricationLaboratory)。本平台位于物质学院7号楼一层南侧(SPSTBldg.#7,Room
#102、104、106、108)，性质为电子厂房净化室，包含千级和万级两个洁净区域，共占地650
平方米；本平台为小规模、高水平
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