PS原理及使用分析.pptVIP

;;1.X射线光电子能谱仪发展历史

爱因斯坦：光电效应

50年代，K.Siegbahn研制成功XPS谱仪

60年代，发展成为商用仪器

主要：PHI公司，VG公司，Karatos公司

发展方向：单色化，小面积，成像XPS;2.仪器功能与特点：

（1）定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素。灵敏度约0.1at%。

（2）定量分析--根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量。误差约20%。

（3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化学状态分析功能。

（4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。

（5）结合离子溅射可以进行深度分析。

（6）对材料无破坏性。

（7）由于X射线不易聚焦,照射面积大,不适于微区分析。;;2.能量关系;能量关系：;;紫外光电子能谱分析

UPS—Ultra-violetphotoelectronSpectroscopy;;;XPS能谱仪的构成

主要：

超高真空系统；

X射线源；

能量分析系统

电子控制系统

数据采集和处理系统;1.X射线源

X射线的产生

X射线源的结构

X射线的单色化

X射线的聚焦和扫描;Mg/Al双阳极X射线源

能量范围适中（Mg：1253.7，Al：1486.7eV）

X射线的能量范围窄（0.7和0.85eV）

能激发几乎所有的元素产生光电子；

靶材稳定，容易保存以及具有较高的寿命;X射线的产生：阴极发射电子，直流高压电场对电子加速，高速碰撞阳极，产生特征X射线;其中，ΔEx—X射线半宽度

ΔEe—光电子自然能量分布，与样品材料有关（不确定关系）

ΔEs—固态宽化效应，激发光电子时产生晶格振动，即声

子对谱的影响

ΔEsp—谱仪的固有分辨率

提高分辨率主要办法是减小X射线宽度，即提高单色性。;2dsinθ=nλ;;6.样品准备;四、谱图分析;1.XPS定性分析;消除电荷效应;能量定标;2.定量分析;谢谢大家！