脉冲压缩光栅表面有机污染物的吸附行为及清洗技术研究.pdfVIP

摘要

大口径脉冲压缩光栅是高功率激光装置中实现短脉冲高能量激光展宽和压缩

的核心元器件。真空环境中的脉冲压缩光栅表面不可避免地遭受到污染，导致光学

元件的衍射效率和激光诱导损伤阈值降低，限制了激光输出能量的进一步提升。目

前对高能激光系统中污染物的产生方式以及在真空环境中扩散规律的研究比较匮

乏。针对有机污染物与光栅表面微观相互机制尚不明晰，缺乏对有机污染物与光栅

的性能之间内在联系的研究。因此，本文开展高功率激光装置中镀金光栅表面有机

污染物的分布扩散、吸附机理以及去除技术的研究。

首先，本文建立了基于真空环境自由分子流扩散的光栅表面污染物多层吸附

有限元模型，构建了反射式镀金脉冲压缩光栅的负一级激光衍射效率模型。研究了

真空中有机污染物扩散沉积分布规律，包括光栅特征结构参数和多物理因素对吸

附的影响，研究多物理因素交互作用的影响。通过衍射效率模型，分析了光栅特征

结构和表面污染对衍射效率的影响。

其次，建立了光栅微结构表面挥发性有机污染物团簇吸附的分子动力学模型。

研究了无定形有机物团簇在非晶态金基底表面作用的动力学特性，计算获得了光

栅特征结构参数和微结构类型对有机物稳定吸附的评价指标，分析了不同条件下

有机物的密度分布、相互作用力强弱等重要特征。构建了污染物分子与金基底的电

荷交换模型。结合污染物分子之间的成键行为和分子与基底的电荷交换特性，找到

了起主要作用的特征原子。获得了有机物分子聚集和污染物分子紧密吸附材料表

面的行为逻辑，揭示了有机物表面的表面吸附机理和机制。

最后，本文开展了高性能镀金脉冲压缩光栅表面污染和等离子体清洗实验。光

栅污染前后的表面形貌和元素含量结果以及清洗后光栅的表面污染残留特性，验

证了有机污染物吸附行为和吸附机理的研究。开展了污染和清洗处理前后元件的

衍射效率和激光诱导损伤阈值测试。结果表明光学元件的性能在清洗后显著提高，

验证了低压等离子体清洗技术的在有机污染去除和光学性能改善的有效性。

关键词:衍射光栅；挥发性有机污染物；吸附机理；等离子体清洗；光学性能

Abstract

Inhighpowersolid-statelaserfacilities,large-aperturepulsecompressiongratings

arethecorecomponentsinchirpedpulseamplificationdevicestoachievespreadingand

compressionofshort-pulsehigh-energylaser.Gratingsaresufferingorganic

contaminationvolatilizedbythevacuumenvironmentduringoperation,resultingin

lowerdiffractionefficiencyandlaser-induceddamagethreshold,whichhaslimitedthe

boostinlaseroutputenergy.Currently,themechanismsofdiffusionandadsorptionof

organiccontaminantsingold-platedgratingsareinsufficientlyunderstood,the

effectivenessofgaseousorganicmoleculesonthedamagethresholdanddiffraction

efficiencyofopticalcomponentsisnotexplicit,andin-situorganiccontaminantdislodge

devicehasnotbeenvalidatedanddeployed.Therefore,itisnecessarytocarryoutthe

researchontheadsorptionbehaviorandcleaningtechnologyofor