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2025年GAAFET工艺3nm节点研发进展及产业链布局分析.docx

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    2025年GAAFET工艺3nm节点研发进展及产业链布局分析范文参考

    一、2025年GAAFET工艺3nm节点研发进展及产业链布局分析

    1.1GAAFET工艺概述

    1.23nm节点研发进展

    1.2.1晶体管结构创新

    1.2.2材料创新

    1.2.3工艺优化

    1.3产业链布局分析

    1.3.1设备供应商

    1.3.2材料供应商

    1.3.3代工厂商

    1.3.4设计厂商

    二、GAAFET工艺3nm节点技术挑战与解决方案

    2.1技术挑战一：光刻技术难题

    2.1.1研发新型光刻技术

    2.1.2改进EUV光刻技术

    2.1.3多层次光刻技术

    2.2技术挑战二：蚀刻技术难题

    2.2.1

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