第五章 X射线光电子能谱制样方法.pptxVIP

《储能材料》第五章X射线光电子能谱制样方法

电子能谱仪电子能谱类分析技术灯丝电子X射线单色化X射线出射光电子检测信号●超高真空系统●激发源（X射线光源、UV光源、电子枪）●能量分析器●检测器●数据系统●其他附件使用单色化X射线源的XPS谱仪示意图?

电子能谱仪系统电子能谱类分析技术样品测试区域光电子/信号电子Video摄像头X射线h?中和电子刻蚀离子

超高真空系统电子能谱类分析技术为什么必须要采用超高真空呢？出射光电子必须逃逸出样品，通过分析器进入检测器，而不与气相分子发生碰撞。某些部件，如X射线源，为了保持正常运行需要真空条件。在XPS实验过程中，所研究的样品表面组成不能发生改变。??1Langmuir=1.0?10─6mbar?s?

电子能谱仪中的激发源电子能谱类分析技术电子能谱仪通常采用的激发源有三种──X射线源、真空紫外灯和电子枪。商品谱仪中将这些激发源组装在同一个样品室中，成为一个多功能的综合能谱仪。?激发源电子能谱类型X射线源XPS(X-rayPhotoelectronSpectroscopy)真空紫外灯UPS(UltravioletPhotoelectronSpectroscopy)电子枪AES(AugerElectronSpectroscopy)

XPS可提供的信息电子能谱类分析技术

对样品的一般要求XPS测试的样品制备UHV