实施指南(2025)《JC_T 2372-2016集成电路用石英舟》.pptxVIP

《JC/T2372-2016集成电路用石英舟》(2025年)实施指南

目录集成电路用石英舟标准核心:为何JC/T2372-2016是行业质量基石?专家视角剖析标准制定背景与核心目标石英舟产品分类与规格:不同类型石英舟适用场景有何差异?标准如何规范规格参数以适配行业趋势?石英舟理化性能指标解析:耐高温性、化学稳定性等核心性能如何达标?检测方法与合格标准深度剖析石英舟检验规则与判定:出厂检验、型式检验有何不同要求?不合格品处理方式是否符合行业热点需求?与旧标准及国际标准对比:差异点在哪里?未来标准修订趋势是否贴合行业发展方向?石英舟原材料要求深度解读:未来几年高纯石英材料如何满足标准?关键指标与选材热点一网打尽石英舟外观与尺寸偏差要求:肉眼可见缺陷与精密尺寸误差如何界定?专家教你规避检测常见疑点石英舟试验方法详解:各项性能检测该用哪些设备与步骤?标准流程如何保障检测结果准确性与权威性?石英舟标志、包装、运输与贮存:标准如何规范全流程管理?这些要求对产品质量保障有何关键作用?标准实施后的行业影响与应用建议:企业如何落地标准提升竞争力?专家预测未来几年行业发展新机集成电路用石英舟标准核心：为何JC/T2372-2016是行业质量基石？专家视角剖析标准制定背景与核心目标

No.1JC/T2372-2016标准制定的行业背景：集成电路产业发展为何催生石英舟标准升级？No.2随着集成电路产业向高集成度、精细化方向发展，石英舟作为芯片制造关键载体，其质量直接影响芯片性能。此前行业缺乏统一标准，产品质量参差不齐，制约产业升级，故制定本标准以规范市场，满足产业发展需求。

标准制定的核心目标：从质量管控到行业引导，JC/T2372-2016如何实现多重价值？核心目标包括统一石英舟质量要求，保障集成电路生产稳定性；规范生产与检测流程，提升行业整体水平；为企业研发、生产提供依据，引导行业技术创新，推动石英舟产品适配更高端芯片制造需求。

0102专家认为，该标准明确了石英舟关键指标与管控要求，是企业生产的“生命线”、质量检测的“标尺”。它衔接了原材料供应、生产制造、下游应用各环节，构建起石英舟质量保障体系，为集成电路产业高质量发展奠定基础，故为“质量基石”。专家视角：标准在行业质量体系中的定位，为何称其为“质量基石”？

石英舟原材料要求深度解读：未来几年高纯石英材料如何满足标准？关键指标与选材热点一网打尽

标准规定的原材料类型：为何高纯石英砂是核心？其他辅助材料有何要求？标准明确石英舟原材料以高纯石英砂为主，因其纯度、耐高温等特性适配芯片制造。辅助材料需满足低杂质、化学稳定性好的要求，避免引入杂质影响石英舟性能，进而保障集成电路生产质量。

原材料关键指标：纯度、杂质含量等指标具体要求是什么？如何影响石英舟性能？纯度要求SiO2含量不低于99.999%，杂质如Na、K、Fe等含量需极低（通常ppm级以下）。高纯度可减少芯片污染，低杂质能保证石英舟耐高温、抗腐蚀，若指标不达标，易导致石英舟开裂、污染芯片。0102

未来几年高纯石英材料发展趋势：如何适配标准升级与集成电路产业需求？01未来高纯石英材料将向更高纯度（如99.9999%）、更均匀粒度方向发展。通过技术创新降低杂质含量，提升材料耐高温、抗冲击性能，以满足标准可能的升级要求，同时适配5G、人工智能等领域对更高端集成电路的需求。02

No.1选材热点与注意事项：企业在选材时如何平衡质量、成本与标准要求？No.2选材热点集中在高纯度、稳定性好的高纯石英砂供应商。企业需考察供应商资质、材料检测报告，确保符合标准；同时优化采购流程，通过批量采购、长期合作降低成本，避免因追求低价选用不合格原材料。

石英舟产品分类与规格：不同类型石英舟适用场景有何差异？标准如何规范规格参数以适配行业趋势？

产品分类依据：标准从哪些维度对石英舟进行分类？分类意义何在？标准主要按用途（如晶圆承载、清洗等）、结构（如单槽、多槽）、尺寸规格对石英舟分类。分类便于企业根据集成电路生产环节需求精准选择产品，也利于规范生产与市场交易，避免因产品类型混乱导致应用失误。12

用于晶圆承载的石英舟，需具备稳定结构，适配晶圆尺寸，适用于光刻、沉积等核心环节；清洗用石英舟，需有良好通透性，便于清洗液接触晶圆，适用于晶圆清洗环节；不同结构的石英舟，分别适配单晶圆、多晶圆同时处理场景。02不同类型石英舟的适用场景：晶圆制造各环节如何匹配对应的石英舟类型？01

标准规范的规格参数：尺寸、槽数、壁厚等参数有哪些具体要求？尺寸方面，晶圆承载石英舟需匹配常见晶圆尺寸（如6英寸、8英寸、12英寸），槽数根据产能需求设定（如2