原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
《半导体设备高分子材料零部件精密机械加工工艺技
术规范》
编制说明
一、工作简况
1.任务来源
2024年5月16日，由北京亚泽中保集成技术服务有限公司申请团
体标准的立项，根据中国电子节能技术协会下达2024年度团体标准修
订项目计划，经中国电子节能技术协会及相关专家技术审核通过，批
准《半导体设备高分子材料零部件精密机械加工工艺技术规范》团体
标准的制定，项目计划编号JH/T/DZJN54-2024。
2.起草单位:XXXXXX
文档评论（0）