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等离子体产生及引出系统采购需求

一、采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求：

（一）采购标的需实现的功能或者目标

该采购项目为等离子体产生及引出系统1套，包括等离子体源体、引出系统及相关的辅助设备，用于产生高流强、高质量、稳定性高的质子束流，同时该系统需要具备远程控制与监测、安全连锁等功能。

（二）为落实政府采购政策需满足的要求

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库【2020】46号）规定，本项目采购标的为中小型企业制造、承建或承接的，投标人应提供《办法》规定的《中小企业声明函》，否则不得享受相关中小企业扶持政策。投标人应对提交的中小企业声明函的真实性负责，提交的中小企业声明函不真实的，应承担相应的法律责任。

本项目采购标的对应的《中小企业划型标准规定》所属行业为：工业。

二、采购标的需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范：

采购项目中所含的投标产品及制造商应符合国家有关部门规定的相应技术、计量、节能、安全和环保法规及标准，如国家有关部门对投标产品或其制造商有强制性规定或要求的，投标产品或其制造商必须符合相应规定或要求，投标人须提供相关证明文件的复印件。

GB/T32218-2015真空技术真空系统漏率测试方法

GB4793.1-2007《测量、控制和实验室用电气设备的安全要求-第1部分：总则》

三、采购标的概况

（一）采购项目名称：等离子体产生及引出系统

（二）采购数量及计量单位：1套

（三）最高限价：人民币185万元

（四）交付时间：合同签订后360天内

（五）交付地点：西安交通大学指定地点

（六）付款进度安排：验收合格后付款95%，一年后无质量问题付款5%

四、采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求：

（*为关键技术指标）

功能性需求

等离子体产生及引出系统包括等离子源体、微波系统、真空系统、供气系统、冷却系统、控制系统。供应商应完成上述物料的设计、生产、集成、测试、包装与运输及现场安装。

主要技术指标

束流种类

质子

等离子体源体结构类型

全永磁ECR离子源

运行模式

高占空比：80%

2、脉冲：重复频率200Hz，脉冲长度200μs

*束流能量

40keV

*束流流强

30mA

高压打火频率

1次/小时，可自动恢复

质子束流比例

80%

出口归一化发射度

0.20πmm?mrad

静态真空（极限真空）

3×10-5Pa

动态真空（工作气压）

3×10-3Pa

中心高度

1.3m

分系统组成与要求

等离子体产生及引出系统的具体组成如图1所示，各分系统的组成部分如表1所示。

图1等离子体产生及引出系统组成

表1分系统组成部分及关键指标

序号

分系统

组成

1

微波系统

包括固态微波机、环形器、定向耦合器、三销钉和波导；

固态微波机：频率2.45GHz±50MHz，内/外触发功能，连续波和脉冲工作模式，功率大于2.5kW

三销钉调谐：具备远程控制功能

波导：BJ26

2

等离子体源体

包括全永磁ECR结构、隔离波导、绝缘平台、微波窗、双脊波导；

工作频率2.45GHz；

绝缘平台和隔离波导：耐压能力50kV；

3

引出系统

包括三电极引出系统和配套的高压电源；

高压引出电源：电压50kV，电流100mA，功率5kW；

抑制电源：电压-5kV，电流60mA，功率300W；

4

冷却系统

包括冷却水机、分水器和高电位冷却水；

冷却水机：分体式布局，水压大于0.6MPa，流量大于10CMH，制冷量大于30kW，温度稳定度小于±0.5℃；

分水器：水排接口DN40，水管材质SS316，每一路分水器设置独立球阀，配置流量、温度和压力监测传感器；

高电位冷却水：绝缘能力大于50kV

5

真空系统

包括分子泵1个、真空计1个、插板阀1个、真空规2个，放气阀2个、角阀3个；

分子泵：CF200，抽速＞1300L/s;

真空规：全量程复合规，莱宝PTR90；

插板阀：VATCF100

6

进气系统

配置2L氢气瓶、减压阀、高精度针阀及电机控制系统，配置远程对进气量的精确控制

7

机械系统

包括支撑支架、真空室、导轨和法拉弟杯；

支架：可以实现XYZ三个方向的精确调节，调节能力大于2cm；

法拉第杯：二次电子抑制方式：磁抑制；束流功率：3kW；杯口直径：50mm；电压转换电阻：100Ω

8

控制系统

含一个控制柜与两个电源柜；控制系统实现对电压、微波、真空、冷却水、插板阀等设备的控制、监测，具有安全连锁功能

4、其他

（1）供应商负责提供整套设备。包括系统的物理设计、设备选型、系统集成、现场安装和调试，完成设备的交钥匙工程。

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