三氟化氮(NF3)(MCP-1381),全球前8强生产商排名及市场份额(by QYResearch).docx

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三氟化氮(NF3)(MCP-1381)全球市场总体规模

三氟化氮(nitrogentrifluoride)化学式NF?,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

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