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半导体材料生产工艺参数优化实战案例
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TOC\o1-3\h\z\u半导体材料生产工艺参数优化实战案例 2
一、引言 2
半导体材料的重要性 2
生产工艺参数优化的必要性 3
本书目的与主要内容概述 4
二、半导体材料基础知识 6
半导体材料的基本特性 6
常见的半导体材料类型 8
半导体材料在电子工业中的应用 9
三、半导体材料生产工艺流程 10
原料准备与处理 10
生长与制备技术 12
后续处理与检测 13
封装与运输 14
四、生产工艺参数优化实战案例 16
案例一：温度
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