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2025至2030中国电子特气纯度标准提升与本土厂商认证进度.docx

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    2025至2030中国电子特气纯度标准提升与本土厂商认证进度

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特气行业现状与发展趋势 3

    1、电子特气在半导体制造中的关键作用 3

    电子特气在晶圆制造、刻蚀、沉积等工艺环节的应用现状 3

    高纯度电子特气对芯片良率与性能的影响机制 5

    2、2025年前中国电子特气市场基础格局 6

    国内主要电子特气品类供需结构与进口依赖度分析 6

    本土厂商产能规模与产品结构现状 7

    二、2025至2030年电子特气纯度标准提升路径 9

    1、国家与行业标准体系演进方向 9

    2、下游晶圆厂对特气纯度的新要

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