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2025至2030中国特种气体纯度标准提升与半导体制造需求匹配度.docx

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    2025至2030中国特种气体纯度标准提升与半导体制造需求匹配度

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国特种气体行业现状与发展趋势 3

    1、特种气体产业整体发展概况 3

    年前中国特种气体产能与市场结构分析 3

    高纯度特种气体在工业应用中的渗透率现状 4

    2、半导体制造对特种气体的核心需求特征 6

    先进制程（7nm及以下）对气体纯度的严苛要求 6

    二、特种气体纯度标准演进路径与政策驱动 7

    1、国家及行业标准体系现状与升级规划 7

    十四五”及“十五五”期间气体纯度标准提升路线图 7

    2、政策支持与监管机制 9

    国家集成

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