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掺铒富硅二氧化硅电致发光器件光电性能的多维度剖析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，对高速、大容量、低功耗的光通信和光计算系统的需求日益迫切。硅基光电集成技术作为实现这一目标的关键途径，受到了广泛的关注。硅材料因其在微电子领域的成熟工艺、高集成度和低成本等优势，成为光电集成的理想基础材料。然而，硅是间接带隙半导体，其发光效率极低，这严重制约了硅基光电集成技术的发展。因此，寻找一种有效的方法来实现硅基材料的高效发光，成为了该领域的研究热点。

掺铒富硅二氧化硅（Er-richsilicon-richsilica，简称Er-SRSO）材料由于其独特