晶圆级可靠性测试系统 CWBS1000 1 ZONE LSIC7000 16 ZONE 32 SLOTS LSIC9000 32 ZONE 产品册.pdf

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晶圆级可靠性测试系统CWBS10001ZONE

该系统适用于6/8寸晶圆级器件的可控高温的带电可靠性测试,基于JEDEC可靠性测试标准设计;

提供高精度高电压输出,保存并且长期记录高精度电流,可控温度等参数,并根据记录测试数

据,导出实验表格及MAP图多格式选择。

定制化高温调节半自动探针台,支持≤5片晶圆同时老化测试

支持每个晶圆Die独立保护功能,对过流过压进行越限控制

支持氮气保护防止晶圆氧化,充气时支持过压保护

支持更换老化板或探针卡不同封装器件进行测试

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