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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应链安全评估报告.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应链安全评估报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体纯化技术发展现状与产业基础 3

    1、电子特种气体行业整体发展概况 3

    2、纯化技术现有水平与瓶颈分析 3

    高纯度（6N及以上）气体国产化率及关键杂质控制能力评估 3

    二、核心技术突破路径与研发进展（2025–2030） 5

    1、关键纯化技术攻关方向 5

    在线监测与智能控制系统在纯化过程中的集成应用 5

    2、产学研协同与国家级项目布局 6

    十四五”及后续专项对电子特气纯化技术的支持重点 6

    重点高校、科研

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