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半导体传感器原理及其在现代科技中的应用

目录

文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1传感技术与微电子背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2半导体传感器的定义与范畴．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3发展历程简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4本文档研究目的与结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

半导体传感器的核心原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1基本工作机理概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2物理参数转换与电信号获取．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2.1压阻效应原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.2.2温度系数影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.2.3晶体结构变化机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.2.4声波传播与接收方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.3化学相互作用基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

2.3.1表面态电荷控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.3.2气体分子吸附模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.3.3薄膜电阻变化分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.4材料特性对传感性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

2.4.1半导体材料选择依据．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.4.2功率与响应特性关联．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.4.3结构稳定性考量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

常见半导体传感器类型及其特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.1压力与加速度感应装置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

3.1.1常用材料与工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.1.2灵敏度与量程分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.2温度检测元件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.2.1热敏电阻与热电偶对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.2.2功耗与响应速度评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

3.3气体识别与检测模块．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

3.3.1选择性吸附机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.3.2输出信号处理方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

3.4湿度测量装置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

3.4.1水分子吸附机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

3.4.2稳定性与重复性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

3.5光探测与发射器件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

3.5.1光电转换效率分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

3.5.2波长选择性特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

3.6物理量其他传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64

3.6.1霍尔效应应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．