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子孔径拼接干涉：非球面光学元件检测的创新突破与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学系统中，非球面光学元件因其卓越的光学性能而占据着举足轻重的地位。与传统的球面光学元件相比，非球面光学元件能够显著减少光学系统的像差和畸变，从而大幅提升成像质量，使得图像更加清晰、真实，同时提高系统的能量利用率，使光学系统在获取和处理光信号时更加高效。这一优势在高端光学仪器、激光设备、航空航天及科研设备等众多领域中得到了充分的体现。

在高端光学仪器领域，如显微镜、望远镜和光谱仪等，非球面光学元件的应用使得这些仪器能够捕捉到更细微的细节，提供更高分辨率的图像和更精确的光谱分析，为科学研究和工业检测提供了强大的工具。在激光设备中，非球面光学元件能够精确地控制激光的传播和聚焦，提高激光的能量密度和加工精度，广泛应用于激光切割、焊接、打标等工业加工领域，以及激光医疗、激光通信等前沿科技领域。在航空航天领域，非球面光学元件对于提高航天相机和卫星光学系统的性能至关重要，它们能够在复杂的空间环境下实现高分辨率的成像和精确的光学测量，为太空探索、地球观测和军事侦察等任务提供关键支持。在科研设备中，非球面光学元件也是不可或缺的，它们为高能激光实验装置、粒子加速器等大型科研设施提供了高精度的光学部件，推动了基础科学研究的发展。

然而，非球面光学元件的加工和检测面临着巨大的挑战。非球面曲面的曲率变化复杂，需要高精度的设备和技术才能实现形状的精确控制。传统的加工方法在处理复杂曲面时，容易出现形状偏差和表面缺陷，难以满足光学性能的严苛要求。单点金刚石车床虽然在某些材料加工中表现出色，但在处理玻璃等硬脆材料时，容易导致表面质量下降，无法满足高端光学应用的需求。此外，非球面光学元件的检测技术也面临着诸多难题，由于其面形的复杂性，传统的检测方法往往无法满足高精度、高分辨率的检测要求。

子孔径拼接干涉检测技术作为一种新兴的非球面光学元件检测技术，具有高精度、高分辨率的优势，能够有效地解决非球面检测的难题。该技术通过将整个全孔径划分为相互之间有一定重叠区域的若干子孔径，利用干涉仪分别对各子孔径的面形进行测量，然后根据重叠区域的数据计算出相邻子孔径参考面之间的相对平移、倾斜及离焦，再通过计算出各个子孔径之间的相互关系把这些子孔径的参考面统一到指定的参考面，即统一的坐标系里，从而恢复整个全孔径的波面。这种方法能够充分利用干涉仪的高精度测量能力，同时通过拼接算法有效地减少测量误差的累积，实现对非球面光学元件的高精度检测。

子孔径拼接干涉检测技术的研究对于推动非球面光学元件的发展和应用具有重要的意义。一方面，该技术能够为非球面光学元件的制造提供精确的检测手段，指导加工过程，提高加工精度和效率，从而促进非球面光学元件在各个领域的广泛应用。另一方面，该技术的研究也有助于推动光学检测技术的发展，为其他复杂光学元件的检测提供新思路和方法，具有重要的理论和实践价值。

1.2国内外研究现状

子孔径拼接干涉检测技术的研究在国内外都取得了显著的进展。在国外，早在20世纪80年代，美国、德国等国家的科研机构就开始了对该技术的研究。美国的Zygo公司是较早开展子孔径拼接干涉检测技术研究的企业之一，他们研发的ZygoVerifireTMAsphere干涉仪在非球面检测领域得到了广泛的应用。该干涉仪采用了先进的算法和高精度的光学元件，能够实现对非球面光学元件的高精度检测。德国的CarlZeiss公司也在子孔径拼接干涉检测技术方面进行了深入的研究，他们的产品在工业检测和科研领域具有很高的声誉。

近年来，国外在子孔径拼接干涉检测技术方面的研究主要集中在提高检测精度和效率、拓展检测范围等方面。例如，一些研究团队通过改进拼接算法，如采用全局优化算法和局部均化算法，有效地减少了拼接误差，提高了检测精度。同时，一些新的检测方法也不断涌现，如非零位环形子孔径拼接干涉技术（NASSI），该技术结合了非零位干涉检测和环形子孔径拼接法，通过使用部分零位镜替代传统的透射球面镜，生成更接近被测面名义形状的非球面波前，减少了所需子孔径的数量，提高了拼接精度和检测效率。

在国内，子孔径拼接干涉检测技术的研究起步相对较晚，但发展迅速。中国科学院光电技术研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等科研机构在该领域取得了一系列重要成果。中国科学院光电技术研究所研发的大口径非球面子孔径拼接干涉检测系统，能够实现对大口径非球面光学元件的高精度检测，为我国的航天、天文等领域提供了重要的技术支持。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所则在子孔径拼接干涉检测技术的算法研究方面取得了突破，提出了一些新的拼接算法，提高了检测精度和效率。

目前，国内的研究主要侧重于解决实际应用中的问题，如提高检测系统的稳定性和可靠性、