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AlGaN/GaNHEMT生化传感器：从设计到性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

生化传感器作为一种能够将生物和化学成分与物理化学检测器结合在一起的分析设备，在诸多领域发挥着不可或缺的重要作用。在医疗健康领域，它能够实时监测患者体内的生理指标，如血糖、血压、心率等，为医生提供准确的诊断依据，助力精准医疗的发展，同时也广泛应用于药物输送、妊娠测试以及癌症、心血管疾病等疾病的诊断。在环境监测方面，生化传感器可高效检测水质、空气质量中的有害物质，为环境保护提供有力支持。随着全球环境问题的日益严峻，其在该领域的应用前景愈发广阔。在食品安全领域，生化传感器通过对食品中添加剂、残留农药及有害微生物的快速检测，保障了消费者的健康权益。此外，随着可穿戴设备的普及和物联网技术的发展，生化传感器在智能家居、智能穿戴设备等领域的应用也逐渐增加。

AlGaN/GaNHEMT生化传感器基于第三代半导体材料GaN制作，其核心的AlGaN/GaN异质结展现出众多独特优势，使其在生化传感领域脱颖而出。从材料特性上看，AlGaN/GaNHEMT材料具备优异的物理化学特性和良好的生物相容性，这使得它可以进行原位检测。其检测灵敏度高，能够精准地探测到环境中的微量物质，可集成的特点也为其在微型化、集成化设备中的应用提供了可能，并且设备配置简单，降低了使用门槛和成本。与SiC材料相比，AlGaN/GaN的异质结具有更高的击穿场强与饱和电子速度，且AlGaN/GaNHEMT中的电离杂质散射较少，因而具有更高的电子迁移率。传统硅基电子器件在高温、高压或者腐蚀性环境中工作时存在局限性，而AlGaN/GaNHEMT器件凭借其独特的耐化学性以及可在高温下工作的性质，成为硅基器件的有力替代者。此外，由于AlGaN/GaN材料具有很高的耐化学腐蚀性，所以它在像细胞介质这类的侵蚀性液体中具有很高的化学稳定性，且此类材料具有很高的生物相容性，在无栅结构的AlGaN/GaN生物传感器的栅区可以用来培养活的细胞进行生理监测。因此，对AlGaN/GaNHEMT生化传感器的研究具有重要的科学意义和实际应用价值，有望推动生化传感技术在各个领域的进一步发展和应用。

1.2研究现状

在设计方面，研究人员不断探索优化AlGaN/GaNHEMT生化传感器的结构以提升性能。有研究通过数值分析的方法深入探究器件传感区域长度与宽度比值及待测物调控二维电子气（2DEG）距离与感测信号之间的关系，为毫米量级的AlGaN/GaNHEMT生物传感器的设计提供了重要依据。为了提升传感器性能，通常会在AlGaN层上方引入一层绝缘介质，这种设计不仅提高了信号响应速度还增强了长期可靠性。在表面功能化处理上，通过共价键合或其他方式固定特定配体或抗体到半导体表面，以确保待测分析物的选择性捕获，例如在DNA探针应用中，通过硫醇基团将单链寡核苷酸连接至Au或Pt电极上；蛋白质检测则更多采用蛋白A/G介导的方法，还可利用纳米颗粒增强局部场强进一步放大输出电压变化幅度，以达到更高的探测极限。

制备工艺上，多种技术被应用于AlGaN/GaNHEMT生化传感器的制备。如采用常规的半导体微加工工艺来制作传感器的基本结构，包括光刻、刻蚀、薄膜沉积等步骤。在材料生长方面，金属有机化学气相沉积（MOCVD）是常用的技术，可精确控制AlGaN/GaN异质结构的生长，以获得高质量的材料。有研究利用UV/ozone氧化GaN表面，使3-氨基丙基三甲氧基硅烷（APTES）自组装单层能够结合到传感区域，作为前列腺特异性抗体（anti-PSA）附着的结合层，用于前列腺特异性抗原检测。也有通过简单的电沉积制备出钒酸铋bvo薄膜，通过二次加热的方式制备单少层氮化碳分散液，将制备出的单少层氮化碳分散液固定在钒酸铋bvo薄膜表面，通过旋涂的方法制备出bvo/c3n4(bvo/cn)光电极，在bvo/c3n4(bvo/cn)光电极的表面原位转换二硫化钼增加其对适配体的固定能力，得到bvo/cn/mos2光电化学生物传感器，并与AlGaN/GaNHEMT耦联，增加传感器灵敏度，提高AlGaN/GaNHEMT使用次数，降低生产成本。

在性能检测方面，针对不同的检测目标物，研究人员对AlGaN/GaNHEMT生化传感器的性能进行了广泛测试。以不同浓度的前列腺特异性抗原（PSA）为待测物，对制作的AlGaN/GaNHEMT生物传感器进行初步测量，测试结果表明，在50mV的电压下，毫米量级的AlGaN/GaNHEMT生物传感器对PSA的探测极限低于0.1pg/ml。在其他生物分子或化