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非晶硅TFT集成电路：原理、挑战与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体显示领域，非晶硅薄膜晶体管（Thin-FilmTransistor，简称TFT）集成电路扮演着举足轻重的角色。自20世纪70年代非晶硅TFT被首次应用于液晶显示器（LiquidCrystalDisplay，LCD）以来，它凭借着自身独特的优势，逐渐成为了显示行业的关键技术之一。非晶硅TFT具有结构简单、制作成本低、对环境适应性强等特点，这使得它在大规模生产液晶显示器时具备显著的成本效益，推动了液晶显示技术的普及和发展。

在液晶显示器中，非晶硅TFT作为核心的驱动元件，如同人的神经系统