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氧化锌纳米阵列的制备工艺与气敏性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，气体传感器在环境监测、工业生产、医疗卫生、食品安全等众多领域都发挥着不可或缺的关键作用。随着人们对生活质量和环境安全关注度的不断提升，对气体传感器的性能也提出了越来越高的要求，如高灵敏度、高选择性、快速响应以及良好的稳定性等。

氧化锌（ZnO）作为一种典型的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料，具备许多优异的特性。其室温下禁带宽度高达3.37eV，激子束缚能达到60meV，这使得它在光电器件领域表现出色，如紫外激光器件和太阳能电池等。同时，它还拥有良好的化学稳定性、热稳定性以及非迁移性、