实施指南(2025)《GBT32816-2016 硅基 MEMS 制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》.pptxVIP

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2025-10-22 发布于云南
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实施指南(2025)《GBT32816-2016 硅基 MEMS 制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》.pptx

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《GB/T32816-2016硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》(2025年)实施指南

目录一、为何说GB/T32816-2016是硅基MEMS制造的“工艺法典”？专家视角解析标准核心框架与深刻蚀、键合技术的基石地位二、深刻蚀工艺作为硅基MEMS制造的“精度利器”，在标准中如何规定关键参数？未来五年工艺优化趋势下该如何落地执行三、键合技术是硅基MEMS结构集成的“连接桥梁”，标准对不同键合类型的要求有哪些？实际生产中常见疑点如何破解四、以深刻蚀与键合为核心的工艺集成流程，标准如何构建全链条规范？从设计到量产的热点问题该如何依据标准解决