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究与设计

基于XRD的渐变缓冲结构中的应力分析与模拟计算

11,211,21,2

长金,郭宏亮,万荣华,张宝,高伟

(1.天津蓝太阳科技有限公司,天津300384;2.中国电子科技集团公司第十八研究所,天津300384)

摘要:反向失配多结太阳电池具有高效率、可赋形等优点,在临近空间无人机、空间飞行器等方面有

着潜在的应用。采用大晶格失配的结构可以获得高的光电转换效率,然而其难点在于如何分析、调

控薄膜电池的内应力。基于渐变缓冲层外延结构,模拟计算了多层结构对应的X射线衍射随入射角

变化的等高线图,进而获得各层材料的晶格常数。经过多次迭代,降低了有源层的内应力,AM0光谱

下电池效率从32%提升到33%。

关键词:反向失配;应力调控;X射线衍射

中图分类号:TM914文献标识码:A文章编号:1002-087X(2025)03-0657-05

DOI:10.3969/j.issn.1002-087X.2025.03.026

RDstrainanalysisandcalculationingradedbufferlayers

11,211,21,2

MAChangjin,GUOHongliang,WANRonghua,ZHANGBao,GAOWei

(1.TianjinLantianSolarTechCo.,Ltd.,Tianjin300384,China;2.TianjinInstituteofPowerSources,Tianjin300384,China)

Abstract:Invertedmetamorphicmultijunctionsolarcellshavetheadvantagesofhighefficiencyand

flexibility,andhavepotentialapplicationsinnearspaceunmannedaerialvehicles,spacecraft,and

otherfields.Usingofalargelatticemismatchstructurecanachievehigherphotoelectricconversion

efficiency,butthedifficultyisthemethodtoanalyzeandcontroltheinternalstressofthinfilmcells.

Basedonthegradedbufferepitaxialstructure,thecontourmapofX-raydiffractionintensitiesare

simulatedandcalculatedwithincidentangles.Latticeconstantsanddislocationdensitiesareesti

matedbyXRDanalysis.Finally,1%improvementinsolarcellefficiencyhasbeenachievedaftersev

eralstructuraliterations.

Keywords:invertedmetamorphic;stresscontrol;X-raydiffraction

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