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单晶氧化镓晶片的生长与超精密加工技术及其应用前景.docxVIP

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  • 2025-10-23 发布于广东
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单晶氧化镓晶片的生长与超精密加工技术及其应用前景.docx

    单晶氧化镓晶片的生长与超精密加工技术及其应用前景

    目录

    一、文档概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

    1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

    1.1.1氧化镓材料的特性概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

    1.1.2单晶生长技术的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

    1.1.3超精密加工技术的必要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

    1.2国内外研究现状

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