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基于模型识别与动力学响应等效的运动参数优化策略及应用

一、绪论

1.1研究背景与意义

在科技飞速发展的当下，各领域对运动系统的性能要求日益严苛，从精密的微/光电子设备制造，到宏大的航空航天工程，运动系统的高精度、高速度和高稳定性已成为决定产品质量与系统效能的关键因素。例如，在半导体制造过程中，光刻机的运动精度直接影响芯片的集成度和性能；在航空航天领域，飞行器姿态控制的准确性关乎飞行安全与任务成败。

在微/光电子领域，随着芯片集成度不断提高，对制造设备的运动精度要求已达到纳米级。传统的运动参数设定方法依赖人工经验，难以满足如此高精度的需求，导致设备运行效率低下，产品次品率上升。在航空航