超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计.pdfVIP

２０２５年３月Ｍａｒ２０２５

第５３卷第６期Ｖｏｌ５３Ｎｏ６

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ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１３８８１２０２５０６００３

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文献引用：张璐凡，孙贺贺，闫恒，等．超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计［Ｊ］．机床与液压，２０２５，５３（６）：１６２０．

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Ｃｉｔｅａｓ：ＺＨＡＮＧＬｕｆａｎ，ＳＵＮＨｅｈｅ，ＹＡＮＨｅｎｇ，ｅｔａｌ．Ｔｒａｎｓｉｅｎｔａｎａｌｙｓｉｓａｎｄｏｐｔｉｍａｌｄｅｓｉｇｎｏｆｔｈｅｃｏｎｎｅｃｔｉｎｇａｒｍｏｆｕｌｔｒａｈｉｇｈａｃｃｅｌｅｒ⁃

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ａｔｉｏｎｍａｃｒｏａｎｄｍｉｃｒｏｍｏｔｉｏｎｐｌａｔｆｏｒｍ［Ｊ］．ＭａｃｈｉｎｅＴｏｏｌ＆Ｈｙｄｒａｕｌｉｃｓ，２０２５，５３（６）：１６２０．

超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计

张璐凡，孙贺贺，闫恒，张鹏启，李兴冲，李奥楠，席政扬

（河南工业大学机电工程学院，河南郑州４５０００１）

摘要：对超高加速度宏微运动平台柔性定位平台的连接臂进行优化设计，以提高定位过程中的稳定性和寿命。在

ＳｏｌｉｄＷｏｒｋｓ中构建三维模型，将模型进行参数化后导入Ｗｏｒｋｂｅｎｃｈ中，通过静力分析得到最大总变形云图和等效应力云图，

通过ｎＣｏｄｅ模块得到疲劳寿命云图，从而得到连接臂的危险部位；对危险部位进行优化设计，通过响应面优化法选择优化

参数和优化目标；最后，从优化方案中选取最佳方案进行验证。结果表明：最大总变形降低１１％，优化后的连接臂等效

应力降低１６３％，疲劳寿命提高３０４％。通过响应面优化方法很大程度上提高了超精密定位平台的稳定性和安全性。

关键词：超高加速度宏微运动平台；瞬态动力学；超精密定位；响应面优化；疲劳寿命

中图分类号：ＴＨ１３２

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ＴｒａｎｓｉｅｎｔＡｎａｌｙｓｉｓａｎｄＯｐｔｉｍａｌＤｅｓｉｇｎｏｆｔｈｅＣｏｎｎｅｃｔｉｎｇＡｒｍｏｆＵｌｔｒａｈｉｇｈＡｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎ

ＭａｃｒｏａｎｄＭｉｃｒｏＭｏｔｉｏｎＰｌａｔｆｏｒｍ

ＺＨＡＮＧＬｕｆａｎ，ＳＵＮＨｅｈｅ，ＹＡＮＨｅｎｇ，ＺＨＡＮＧＰｅｎｇｑｉ，ＬＩＸｉｎｇｃｈｏｎｇ，ＬＩＡｏｎａｎ，ＸＩＺｈｅｎｇｙａｎｇ

（ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＺｈｅｎｇｚｈｏｕＨｅｎａｎ４５０００１，Ｃｈｉｎａ）

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Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｃｏｎｎｅｃｔｉｎｇａｒｍｏｆｔｈｅｕｌｔｒａｈｉｇｈａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｍａｃｒｏａｎｄｍｉｃｒｏｍｏｔｉｏｎｐｌａｔｆｏｒｍ′ｓｆｌｅｘｉｂｌｅｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇｐｌａｔｆｏｒｍｗａｓ

ｏｐｔｉｍｉｚｅｄｔｏｅｎｈａｎｃｅｉｔｓｓｔａｂｉｌ