《集成电路封装与测试》课件（共十章）.ppt

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2025-10-28 发布于福建
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8.2光学显微技术光学显微技术（OM）在不同等级的封装失效分析中是一个常用的方法，是最基本的检测技术之一。光学显微镜便宜、方便、并且易于使用。由于大多数半导体样品是不透明的，所以使用的显微镜都是金相显微镜，需要通过透镜来反射光线。先进的光学显微镜加上电子摄像头，配上电脑加以图像处理软件，组成了光学电子显微镜。8.2光学显微技术光学显微技术（OM）在不同等级的封装失效分析中是一个常用的方法，是最基本的检测技术之一。光学显微镜便宜、方便、并且易于使用。由于大多数半导体样品是不透明的，所以使用的显微镜都是金相显微镜，需要通过透镜来反射光线。先进的光学显微镜加上电子摄像头，配上电脑加以图像处理软