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2025至2030中国特种气体在半导体制造环节的应用需求测算报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、中国特种气体行业现状分析 3
1、特种气体在半导体制造中的关键作用 3
光刻、刻蚀、沉积等核心工艺对特种气体的依赖性 3
高纯度与超高纯度气体在先进制程中的应用现状 5
2、国内特种气体产业链发展水平 6
上游原材料与提纯技术能力评估 6
中游气体生产与充装、下游应用配套服务能力 7
二、2025至2030年半导体制造环节特种气体需求测算 9
1、按制程节点划分的需求预测 9
及以上成熟制程气体消耗量趋势 9
及以下先
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