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2025《电容式微机械换能器等效模型与结构设计》8600字.docx

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    电容式微机械换能器等效模型与结构设计

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    TOC\o1-3\h\u23024电容式微机械换能器等效模型与结构设计 1

    2979第一章绪论 1

    178911.1研究背景和意义 1

    150481.2残余应力 2

    317681.2.1残余应力的来源 2

    305601.2.2残余应力的影响 3

    108381.3残余应力检测方法及其现状 4

    152891.3.1有损检测技术 4

    324341.3.2无损检测技术 5

    119211.4本课题主要研究内容 6

    23043第二章超声波法测残余应力基础原理 1

    302522.1

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