电子工业防微振工程技术规范.docxVIP

·1·

目次

1总则 (1)

2术语 (2)

3基本规定 (4)

4精密设备及仪器容许振动标准 (6)

4.1一般规定 (6)

4.2精密设备及仪器容许振动值 (6)

5规划设计 (10)

5.1一般规定 (10)

5.2防振距离 (10)

5.3厂区布置 (12)

6建筑结构防微振设计 (13)

6.1一般规定 (13)

6.2防微振措施 (14)

6.3微振动验算 (16)

7隔振设计 (20)

7.1一般规定 (20)

7.2主动隔振 (21)

7.3被动隔振 (22)

8防微振工程施工质量验收 (25)

8.1一般规定 (25)

8.2防微振工程地基处理施工质量验收 (26)

8.3块体式混凝土防微振基础施工质量验收 (26)

8.4防微振工程结构施工质量验收 (27)

8.5精密设备及仪器隔振工程施工质量验收 (27)

·2·

8.6动力设备及管道隔振工程施工质量验收 (30)

8.7防微振工程施工质量验收 (32)

附录A微振动测试分析 (34)

附录B多振源振动响应叠加计算 (40)

本规范用词说明 (42)

引用标准名录 (43)

·1·

1总则

1.0.1为规范电子工业防微振工程的勘察、设计及施工质量验收，确保满足精密设备及仪器所容许的微振动环境要求，并做到技术先进、经济适用、运行可靠及节约能源，制定本规范。

1.0.2本规范适用于新建、改建的电子工业厂房、测试站(台)等工程的防微振设计、施工及质量验收。

1.0.3防微振工程设计、施工及质量验收，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

·2·

2术语

2.0.1微振动micro-vibration

影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。

2.0.2容许振动值allowablevalueofvibration

保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。

2.0.3建筑结构防微振体系structuralmicrovibrationcon-trolsystem

为保证精密设备及仪器正常运行，对建筑结构采取减弱环境振动影响的综合措施。

2.0.4主动隔振activevibrationisolation

为减小动力设备产生的振动对外界环境的影响而对其采取的隔振措施。

2.0.5_被动隔振passivevibrationisolation

为减小环境振动对精密设备及仪器的影响而对其采取的隔振措施。

2.0.6主动控制隔振装置activevibrationisolatingdevice

具有预先设置并通过自身反馈系统获取信号，使隔振装置实时施加反向作用而降低环境振动影响，保证设备正常工作的装置。

2.0.7隔振器vibrationisolator具有衰减振动功能的支承元件。

2.0.8隔振装置vibrationisolationmounting

由隔振器、阻尼器、调节阀、控制器及信号处理器等组成的隔振组合体。

·3·

2.0.9隔振系统vibrationisolationsystem

由被隔振对象、台板、隔振器或隔振装置组成的系统。

2.0.10振动响应vibrationresponse

建筑结构或隔振系统受振动作用时，其输出的振动位移、振动速度、振动加速度等。

2.0.11环境振动environmentvibration

建筑场地或建筑物在内外各种振源影响下的振动。

2.0.12常时微动usualenvironmentalmicro-vibration无明确振源的场地或建筑物的微弱振动。

2.0.13