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非晶碳基薄膜多层结构设计及其对摩擦磨损性能的影响研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代工业向高精度、高速度、高可靠性方向的不断发展，对材料表面性能的要求也日益严苛。在众多材料表面改性技术中，薄膜涂层技术凭借其独特的优势脱颖而出，成为提高材料表面性能的关键手段。非晶碳基薄膜作为一种新型的功能材料，以其卓越的综合性能，在众多领域展现出巨大的应用潜力。

非晶碳基薄膜，是一种含有大量碳原子且原子排列无序的薄膜材料。其具有高硬度、良好的化学稳定性、优异的抗腐蚀性能以及出色的摩擦磨损性能等特点，使其在机械制造、汽车工业、航空航天、电子信息、生物医学等领域得到了广泛应用。在机械制造领域，非晶碳基薄