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超声辅助钻铣加工：机理剖析与系统构建

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着现代工业的飞速发展，对材料性能的要求日益提高，硬脆材料因其具有高硬度、高强度、耐高温、耐腐蚀等优异性能，在航空航天、电子、光学、医疗器械等众多领域得到了广泛应用。例如，在航空航天领域，工程陶瓷用于制造发动机的高温部件，能够承受极高的温度和压力；在电子领域，单晶硅是制造芯片的关键材料，其高质量的加工对于芯片性能至关重要；在光学领域，光学玻璃和蓝宝石被用于制造镜头和窗口，要求具有极高的表面质量和精度。然而，硬脆材料的硬脆特性使其加工难度极大，传统的加工技术在面对硬脆材料时存在诸多局限。

传统加工技术如机械加工，在对硬脆材料